3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應符合下列規(guī)定:
1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級應按表3.0.1 確定。
表3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級
注:按不同的測量方法,各等級水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應超過3位。
2 各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應按下式計算:
式中:Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數(shù),有效位數(shù)不超過三位數(shù);
N—空氣潔凈度等級,數(shù)字不超過9,潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量;
D—要求的粒徑(μm);
0.1—常數(shù),其量綱為μm。
3 當工藝要求粒徑不止一個時,相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。
4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm~0.5μm,超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。
3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài),空氣潔凈度等級所處狀態(tài)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.0.3 空氣潔凈度的測試方法應按本規(guī)范附錄A的要求進行。
3.0.4 當潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學污染物時,應根據(jù)工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應的微生物、化學污染物濃度限值。