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6.1 一般規(guī)定

6.1.1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求。

6.1.2 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級的不同要求，需用不同的氣流流型。

6.1.3 下列情況之一者，其凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：

1 運行班次或使用時間不同。

2 生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物資或氣體對其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量有影響。

3 對溫、濕度控制要求差別大。

4 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)。

6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍應(yīng)符合表6.1.4 的規(guī)定。

表6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍

6.1.5 潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列兩項中的最大值：

1 補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。

2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

6.1.6 潔凈區(qū)的清掃宜采用移動式高效真空吸塵器，但空氣潔凈度等級為1級～5級的單向流潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷，吸塵口應(yīng)加蓋封堵。

6.1.7 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計對維護管理的要求應(yīng)符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

6.2 潔凈室壓差控制

6.2.1 潔凈室（區(qū)）與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。

6.2.2 不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5PA，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5PA，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10PA。

6.2.3 潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法來確定。

6.2.4 送風(fēng)、回風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜連鎖。正壓潔凈室連鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機；關(guān)閉時連鎖程序應(yīng)相反。

負壓潔凈室連鎖程序應(yīng)上述正壓潔凈室相反。

6.2.5 非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進行凈化空調(diào)處理。

6.3 氣流流型和送風(fēng)量

6.3.1 氣流流型的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈室（區(qū)）的氣流流型和送風(fēng)量應(yīng)符合表6.3.3 的要求。空氣潔凈度等級要求嚴(yán)于4級時，應(yīng)采用單向流；空氣潔凈度等級為4級-5級時，應(yīng)采用單向流；空氣潔凈度等級為6級-9級時，應(yīng)采用非單向流。

2 潔凈室工作區(qū)的氣流分部均勻。

3 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)符合生產(chǎn)工藝。

6.3.2 潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取下列三項中的最大值：

1 滿足空氣潔凈度等級要求的送風(fēng)量。

2 根據(jù)熱、濕負荷計算確定的送風(fēng)量。

3 按本規(guī)范第6.1.5條的要求向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。

6.3.3 為保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量，應(yīng)按表6.3.3中有關(guān)數(shù)據(jù)進行計算或按室內(nèi)發(fā)生塵量進行計算。

表 6.3.3 氣流流型和送風(fēng)量

注：1 換氣次數(shù)適用于層高小于4.0m的潔凈室；

2 應(yīng)根據(jù)室內(nèi)人員、工藝設(shè)備的布置以及物料傳輸?shù)惹闆r采用上、下限制。

6.3.4 潔凈室內(nèi)各種設(shè)施的布置應(yīng)考慮對氣流流型和空氣潔凈室度的影響，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 單向流潔凈室內(nèi)不宜布置潔凈工作臺，非單向流潔凈室的回風(fēng)口宜遠離潔凈工作臺。

2 需排風(fēng)的工藝設(shè)備宜布置在潔凈室下風(fēng)側(cè)。

3 有發(fā)熱設(shè)備時，應(yīng)采取措施減少熱氣流對氣流分布的影響。

4 余壓閥宜布置在潔凈氣流的下風(fēng)側(cè)。

6.4 空氣凈化處理

6.4.1 空氣過濾器的選用、布置和安裝方式應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級合理選用空氣過濾器。

2 空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。

3 中效或高中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段。

4 亞高效過濾器和高效過濾器作為末端過濾器時宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端，超高效過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端。

5 設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近。

6 高效（亞高效、超高效）空氣過濾器安裝方式應(yīng)嚴(yán)密、簡便、可靠、易于檢漏和更換。

6.4.2 對較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進行空氣凈化處理。

6.4.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng)。

6.4.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機宜采取變頻措施。

6.4.5 嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。

6.5 采暖通風(fēng)、防排煙

6.5.1 空氣潔凈度等級嚴(yán)于8級的潔凈室不得采用散熱器采暖。

6.5.2 潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置。

6.5.3 在下列情況下，局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)單獨設(shè)置：

1 排風(fēng)介質(zhì)混合后產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性和發(fā)生交叉污染。

2 排風(fēng)介質(zhì)中含有毒性的氣體。

3 排風(fēng)介質(zhì)中含有易燃、易爆氣體。

6.5.4 潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定；

1 應(yīng)防止室外氣流倒灌。

2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)的防火防爆措施。

3 排風(fēng)介質(zhì)中有害物濃度及排放速率超過國家或地區(qū)有害物排放濃度及排放速率規(guī)定時，應(yīng)進行無害化處理。

4 對含有水蒸氣和凝結(jié)性物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)按坡度及排放口。

6.5.5 換鞋、存外衣=盥洗、廁所和淋浴等生產(chǎn)輔助房間應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值應(yīng)低于潔凈區(qū)。

6.5.6 根據(jù)生產(chǎn)工藝要求應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)系統(tǒng)。事故排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)自動和手動控制開關(guān)，手動控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室內(nèi)、外便于操作處。

6.5.7 潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈廠房中的疏散走廊應(yīng)設(shè)置機械排煙設(shè)施。

2 潔凈廠房設(shè)置的排煙設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

6.6 風(fēng)管和附件

6.6.1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置電動密碼閉閥、調(diào)節(jié)閥、送、回風(fēng)管段應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥，潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或電動密閉閥。

6.6.2 下列情況之一的通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)設(shè)防火閥：

1 風(fēng)管穿越防火分區(qū)的隔墻處，穿越變形縫的防火隔墻的兩側(cè)。

2 風(fēng)管穿越通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)機房的隔墻和樓板處。

3 垂直風(fēng)管與每層水平風(fēng)管交接的水平管段上。

6.6.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)風(fēng)閥、高效過濾器的保護網(wǎng)、孔板、擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)符合輸送空氣的潔凈度要求極其所處的空氣環(huán)境條件的要求。

潔凈室排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥、止回閥、電動密閉閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)符合排除氣體的性質(zhì)極其所處的空氣環(huán)境條件的要求。

6.6.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)總管及排風(fēng)系統(tǒng)的吸風(fēng)總管段上宜采取消聲措施，滿足潔凈室內(nèi)噪聲要求。

凈化空調(diào)系統(tǒng)的排風(fēng)管或局部排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)管段上，宜采取消聲措施，滿足室外環(huán)境區(qū)域噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求。

6.6.5 在空氣過濾器的前、后應(yīng)設(shè)置測壓孔或壓差計。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，宜設(shè)置風(fēng)量測定孔。

6.6.6 風(fēng)管、附件及輔助材料的耐火性能應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不然材料。

2 排除有腐蝕性氣體的風(fēng)管應(yīng)采用耐腐蝕的難燃材料。